SemiOn SECS / HSMS 드라이버는 SEMI 표준인 반도체 장비 통신 표준(Semiconductor Equipment Communication Standard)을 간단하고 쉽게 개발할 수 있도록 도와 주는 소프트웨어 개발 킷입니다.
SECS/HSMS 표준은 장비와 호스트 사이에 공정 데이터나 장비 상태 등의 메시지를 주고 받기 위해 사용됩니다. SECS/HSMS 표준은 반도체 및 LCD 장비에서 호스트와의 연동을 위해 반드시 구현되어야 하며 SemiOn을 이용하면 간단하고 편리하게 구축할 수 있습니다.
SemiOn으로 만들어진 GEM Agent 프로그램
SEMI 표준
SemiOn 에서 지원하는 통신 표준(SECS-II/HSMS)은 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)의 표준 위원회에서 제정합니다.
SemiOn을 능숙하게 사용하려면 기본적으로 이들 표준에 대해서 상세히 알고 있는 것이 좋습니다. 표준은 SEMI 홈페이지에서 구입 가능합니다.
SemiOn에서 지원하는 표준은 아래와 같습니다.
SEMI E5-0303 : SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE CONTENT(SECS-II)
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